微导纳米首台百兆瓦钙钛矿ALD设备顺利出货
微导纳米
·
2024-03-06 17:25
3月5日，微导纳米在官微宣布，公司在近日出货了首台自主研发的大面积百兆瓦钙钛矿电池生产专用量产型原子层沉积（ALD）设备至行业头部客户，实现在大面积玻璃基底钙钛矿的技术应用，完成公司在钙钛矿电池领域的又一块产业化拼图，标志着该类型钙钛矿电池技术专用ALD设备正式进入产业化验证阶段。
本次提供的专用量产型ALD设备，主要应用于钙钛矿电池SnO2薄膜的制备。该设备克服了此镀膜工艺需要的低温、无损、大面积均匀制备等工艺难点，创新设计大面积ALD反应腔体，实现了钙钛矿产业化工艺节拍要求；重点优化的流场设计和前驱体区隔系统，满足了钙钛矿电池量产所需的膜厚均匀性等多项技术指标要求。
目前，微导纳米已投入研发并推出多款适用于钙钛矿不同技术路线的专用薄膜设备平台，全面覆盖晶硅钙钛矿叠层路线、大面积玻璃基底钙钛矿路线和纯柔性钙钛矿三条主流技术路线，可提供包含Al2O3、SnO2、NiOX、ITO、C60和高水氧阻隔等不同膜层的产业化量产装备。
编辑：彭梦千
监督：0571-85871667
投稿：news@ccement.com
本文内容为作者个人观点，不代表行情通立场。联系电话：0571-85871513，邮箱：news@ccement.com。
